什么是壓電多軸納米位移臺?
什么是壓電多軸納米位移臺?壓電多軸納米位移臺是多個(gè)納米位移平臺組合而成的多軸運(yùn)動和定位產(chǎn)品,包括2軸,3軸,4軸,5軸等,形式多樣,可根據(jù)需要定制。
壓電多軸納米位移臺適用于物理科學(xué),工業(yè),半導(dǎo)體等領(lǐng)域,多軸納米位移臺,分辨率高,行程大,操作簡單,定位準(zhǔn)確,能在真空下使用等優(yōu)點(diǎn)。
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等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD)有哪些部分組成?
等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)哪些部分組成(PECVD)?很多老師不了解PECVD的組成,下面卓聚科技小編為大家介紹一下。
等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),生長樣品腔的管徑60-120mm,它是由高溫管式爐、多路高精度流量控制與供氣系統(tǒng)、機(jī)械泵、真空密封及測量系統(tǒng)、尾氣處理系統(tǒng)組成,極限真空度可達(dá) 10^-5 torr 。
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