壓電二維納米位移臺 XYMF-133-lODA，為長行程納米平移臺，具有分辨率高，行程大，帶有高精度及高分辨率的位置反饋，操作簡單，定位糟準，能在真空下使用等優(yōu)點，其中XYMF-133-100A平移臺可實現(xiàn)在XY二維空間上的準確定位，可應(yīng)用于需要納米精度運動操作及定位的各個領(lǐng)域。 壓電二維納米位移臺使用壓電陶瓷驅(qū)動，運動無需...

壓電旋轉(zhuǎn)納米位移臺RF系列，通過壓電陶瓷驅(qū)動，具有定位準確，位置保持性好，自帶鎖緊，能360°旋轉(zhuǎn)等優(yōu)點。在增強位置反饋模塊后，可實現(xiàn)高精度及高分辨率的開環(huán)/閉環(huán)控制，適用于大氣及真空環(huán)境下工作。 壓電旋轉(zhuǎn)納米位移臺RF系列應(yīng)用： 1、電子顯微鏡原位納米探針臺。 2、半導(dǎo)體芯片檢測。 3、光刻機工件臺。 4、微生...

壓電驅(qū)動納米位移臺，使用壓電陶瓷作為運動促動元件，可以在數(shù)百毫米范圍內(nèi)實現(xiàn)亞納米級別的Z小步長，從而解決了傳統(tǒng)納米臺行程小而微米電動臺分辯精度不高的問題。在科研市場、半導(dǎo)體市場、先進制造業(yè)、生物醫(yī)藥行業(yè)、光學、通信等行業(yè)有廣泛應(yīng)用。 壓電納米位移臺優(yōu)勢： 1、結(jié)構(gòu)緊湊，高剛性。 2、高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向...