干式液氦溫區(qū)探針臺(tái)
干式液氦溫區(qū)探針臺(tái)是卓聚專(zhuān)為樣品的非破壞檢測(cè)和真空潔凈而設(shè)計(jì)的,測(cè)試靈活,廣泛應(yīng)用于直流(DC),射頻(RF),MEMS, 納米電子,超導(dǎo)性,納米電路的光電特性,量子點(diǎn)和量子線(xiàn),非破壞性測(cè)試等。利用住友F-50連續(xù)流型、變溫制冷系統(tǒng),低溫可達(dá)6k,同時(shí)配備自動(dòng)溫度控制器(穩(wěn)定度為0.05 K),帶有觸控界面和LabView驅(qū)動(dòng),工作溫度范圍在6 K to 400 K 。另加防輻射窗口可截?cái)鄻悠犯蟮臒彷椛?,可測(cè)量更大的尺寸樣品。
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干式液氦溫區(qū)探針臺(tái) 產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
1.真空腔體:真空度優(yōu)于6×10-4Pa。降溫后優(yōu)于6×10-5Pa。留有2個(gè)用戶(hù)法蘭接口(KF40可接入氣體或者額外的電纜);
2. 探針控制:標(biāo)配6個(gè)探針臂。調(diào)節(jié)范圍50mm*50mm*30mm,調(diào)節(jié)精度優(yōu)于10um。每個(gè)探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線(xiàn)纜及探針。樣品臺(tái)底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線(xiàn)纜;
3. 顯微鏡模塊:連續(xù)變倍單筒顯微鏡,光學(xué)放大倍率:1.4X~9X(使用2X附加物鏡時(shí)),視頻放大倍率約700倍。可選2X附加物鏡。分辨率優(yōu)于2um。全高清數(shù)字?jǐn)z像頭,帶同軸照明和環(huán)形照明,帶機(jī)械調(diào)焦和光學(xué)調(diào)焦;
4. 變溫樣品臺(tái):50mm直徑。變溫范圍:30K~400K??販胤€(wěn)定性?xún)?yōu)于±0.01K;
5. 可選配接入光纖,可將一根或幾根電學(xué)探針替換為光纖;
6. 系統(tǒng)直流漏電低于1pA;
7. 產(chǎn)品含進(jìn)口分子泵機(jī)組、全量程真空規(guī)和智能溫控儀。
干式液氦溫區(qū)探針臺(tái)產(chǎn)品參數(shù)
型號(hào) | LTZ-6H-06 |
外形 | 838*800*1355 |
系統(tǒng)功率 | 2.5KW |
電壓 | 380V三線(xiàn)交流 |
X-Y軸行程定位精度 | ±0.01mm |
探針調(diào)節(jié)精度 | ±0.01mm |
腔體真空度 | 1.0*10^-6pa |
重量 | 200kg |
測(cè)試直徑 | 6/8/12寸 |
探針軸行程 | 110mm |
探針XYZ行程 | 15mm |
制冷方式 | 干式液氦制冷 |
X-Y軸額定速度 | 手動(dòng)調(diào)節(jié) |
腔體直徑 | 245mm |
探針臂數(shù)量 | 6 |
冷頭功率 | 1.5KW |
溫度下限 | 3.5K |
探針臂 | 每個(gè)探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線(xiàn)纜及探針,樣品臺(tái)底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線(xiàn)纜 |
顯微鏡倍率 | 4X~9X(使用1X附加物鏡時(shí)) |
地腳 | 底部塑膠減震地腳 |
探針頻率 | 26GHz—100GHz(可選) |
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