今天卓聚科技小編來給大家介紹一下等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)設(shè)備的技術(shù)基礎(chǔ)。 1、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積的主要過程 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）技術(shù)是借助于輝光放電等離子體使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而實(shí)現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術(shù)。由于PECVD技術(shù)是通過應(yīng)氣體放電來制備薄膜...

等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(plasma enhanced chemical vapor deposition，PECVD) 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積-制取方法 在沉積室利用輝光放電使其電離后在襯底上進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)沉積的半導(dǎo)體薄膜材料制備和其他材料薄膜的制備方法。等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積是：在化學(xué)氣相沉積中，激發(fā)氣體，使其產(chǎn)生低溫等離子體，增強(qiáng)反應(yīng)物...

卓聚科技小編為您介紹一下什么是納米位移臺以及納米位移臺的工作原理是什么。 納米位移臺由壓電陶瓷驅(qū)動器、柔性鉸鏈機(jī)械系統(tǒng)、傳感器、控制器、軟件及標(biāo)定系統(tǒng)組成，是儀器和設(shè)備領(lǐng)域的共性關(guān)鍵器件。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備、顯微成像、納米技術(shù)、激光與光學(xué)、航天航空、生物醫(yī)學(xué)、航天航空、國防軍工等領(lǐng)域。 納米位移...

今天卓聚科技小編給您介紹一下位移臺知識，讓您更入的了解位移臺。 位移臺主要分：電動位移臺和手動位移臺。 位移臺的使用概況及組成：位移臺因其高精度、可控性強(qiáng)、實(shí)用性高、維護(hù)簡單、因而廣泛應(yīng)用于科研、激光應(yīng)用、全自動計量檢測儀器設(shè)備、工業(yè)自動化等領(lǐng)域；以及實(shí)現(xiàn)真空、污染、無菌、輻射等環(huán)境下的位移控制。 ...