納米位移臺的行程范圍（travel range）通常根據(jù)其設(shè)計(jì)類型、應(yīng)用場景和驅(qū)動方式的不同而有所差異。以下是常見類型的納米位移臺及其典型行程范圍：
1. 壓電驅(qū)動納米位移臺（Piezo Stage）
行程范圍： 5 μm 到 500 μm（部分特殊設(shè)計(jì)可達(dá) 1 mm 或更高）。
特點(diǎn)：精度高，可達(dá)納米級甚至亞納米級。
行程通常較短，適合高精度、小范圍的定位與掃描。
應(yīng)用場景： 原子力顯微鏡（AFM）、掃描隧道顯微鏡（STM）、光纖耦合、對準(zhǔn)等。
2. 壓電步進(jìn)納米位移臺（Piezo Stepper Stage）
行程范圍： 1 mm 到 50 mm（部分可達(dá) 100 mm）。
特點(diǎn)：結(jié)合壓電效應(yīng)和步進(jìn)驅(qū)動，實(shí)現(xiàn)較大行程和高分辨率。
適合需要更長行程且保持高精度的應(yīng)用。
應(yīng)用場景： 顯微鏡臺、裝配與測試系統(tǒng)、光學(xué)對準(zhǔn)。
3. 電機(jī)驅(qū)動納米位移臺（Motorized Nano Stage）
行程范圍： 10 mm 到 200 mm（部分特制的可達(dá) 300 mm 以上）。
特點(diǎn)：使用伺服電機(jī)或步進(jìn)電機(jī)，行程長但分辨率稍低（通常在納米到微米級）。
適合中長行程需求，精度通常在 50 nm 到 200 nm 之間。
應(yīng)用場景： 激光加工、半導(dǎo)體封裝、自動化檢測設(shè)備。
4. 直線電機(jī)納米位移臺（Linear Motor Stage）
行程范圍： 50 mm 到 500 mm（特定設(shè)計(jì)可超過 1 m）。
特點(diǎn)：無接觸驅(qū)動（無摩擦），行程長且速度高。
分辨率通常為 10 nm 到 100 nm 之間。
應(yīng)用場景： 光刻、激光微加工、快速掃描系統(tǒng)。
5. 復(fù)合型納米位移臺（Hybrid Stage）
行程范圍： 數(shù)十納米到數(shù)百毫米（視具體組合而定）。
特點(diǎn)：結(jié)合壓電與電機(jī)驅(qū)動，既能實(shí)現(xiàn)超高精度也能保證長行程。
應(yīng)用場景： 納米級制造、微納光學(xué)器件裝配、復(fù)雜軌跡運(yùn)動控制。
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