壓電驅(qū)動納米位移臺的出現(xiàn)，解決了傳統(tǒng)納米臺行程小而微米電動臺分辯精度不高的問題。在科研市場、半導體市場、先進制造業(yè)、生物醫(yī)藥行業(yè)、光學、通信等領域已廣泛應用。
納米位移臺的工作原理
納米位移臺主要采用運動控制，由光、機、電、控制軟件等多領域技術集成的運動控制技術。
內(nèi)部由一個或多個壓電陶瓷作為驅(qū)動，其產(chǎn)生單軸或者多軸的運動；通過柔性鉸鏈技術將壓電陶瓷產(chǎn)生的運動傳遞和放大；經(jīng)電容傳感器將運動信息傳遞給控制系統(tǒng)，再由控制系統(tǒng)對該運動進行修正、補償和控制；在對運動系統(tǒng)進行閉環(huán)控制時，可實現(xiàn)納米、亞納米級別的運動分辨率和運動控制精度。

壓電三軸納米探針臺

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