納米位移臺(tái)細(xì)調(diào)模式通常是指在已經(jīng)完成初步調(diào)整和定位之后，對(duì)于微小的位移調(diào)整進(jìn)行精細(xì)控制的方式。
納米位移臺(tái)的細(xì)調(diào)模式一般有以下幾種：
輪廓掃描模式：在該模式下，操作人員可以通過(guò)觀察樣品的輪廓來(lái)進(jìn)行微調(diào)?？梢允褂酶弑堵实娘@微鏡或者掃描電子顯微鏡等設(shè)備來(lái)實(shí)現(xiàn)。這種方法適用于樣品表面形貌的調(diào)整。
基于圖像處理的自動(dòng)微調(diào)模式：這種方法利用圖像處理技術(shù)，將樣品的圖像與目標(biāo)圖像進(jìn)行比較，通過(guò)計(jì)算出偏差，并將調(diào)整命令反饋給位移臺(tái)，實(shí)現(xiàn)微小的位移調(diào)整。這種方法適用于需要進(jìn)行精細(xì)調(diào)整的樣品表面的形貌或者特征。
感應(yīng)器控制模式：該模式下，位移臺(tái)上會(huì)安裝有感應(yīng)器，用來(lái)檢測(cè)樣品的位移和偏差。操作人員可以通過(guò)讀取感應(yīng)器數(shù)據(jù)，判斷樣品是否需要進(jìn)行微調(diào)，然后下達(dá)相應(yīng)的位移指令。
納米位移臺(tái)細(xì)調(diào)模式的選擇，應(yīng)根據(jù)實(shí)際的應(yīng)用場(chǎng)景和需要進(jìn)行綜合考慮。
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