壓電驅(qū)動(dòng)納米位移臺(tái)的出現(xiàn)，解決了傳統(tǒng)納米臺(tái)行程小而微米電動(dòng)臺(tái)分辯精度不高的問(wèn)題。在科研市場(chǎng)、半導(dǎo)體市場(chǎng)、先進(jìn)制造業(yè)、生物醫(yī)藥行業(yè)、光學(xué)、通信等領(lǐng)域已廣泛應(yīng)用。
納米位移臺(tái)的工作原理
納米位移臺(tái)主要采用運(yùn)動(dòng)控制，由光、機(jī)、電、控制軟件等多領(lǐng)域技術(shù)集成的運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)。
內(nèi)部由一個(gè)或多個(gè)壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)，其產(chǎn)生單軸或者多軸的運(yùn)動(dòng)；通過(guò)柔性鉸鏈技術(shù)將壓電陶瓷產(chǎn)生的運(yùn)動(dòng)傳遞和放大；經(jīng)電容傳感器將運(yùn)動(dòng)信息傳遞給控制系統(tǒng)，再由控制系統(tǒng)對(duì)該運(yùn)動(dòng)進(jìn)行修正、補(bǔ)償和控制；在對(duì)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)進(jìn)行閉環(huán)控制時(shí)，可實(shí)現(xiàn)納米、亞納米級(jí)別的運(yùn)動(dòng)分辨率和運(yùn)動(dòng)控制精度。

壓電三軸納米探針臺(tái)

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