壓電二維納米位移臺(tái)性能優(yōu)勢(shì)
壓電二維納米位移臺(tái) XYMF-133-lODA，為長(zhǎng)行程納米平移臺(tái)，具有分辨率高，行程大，帶有高精度及高分辨率的位置反饋，操作簡(jiǎn)單，定位糟準(zhǔn)，能在真空下使用等優(yōu)點(diǎn)，其中XYMF-133-100A平移臺(tái)可實(shí)現(xiàn)在XY二維空間上的準(zhǔn)確定位，可應(yīng)用于需要納米精度運(yùn)動(dòng)操作及定位的各個(gè)領(lǐng)域。
壓電二維納米位移臺(tái)使用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，運(yùn)動(dòng)無(wú)需潤(rùn)滑，并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作，運(yùn)動(dòng)分解率達(dá)到納米級(jí)，能夠步進(jìn)和自描雙模式工作，在宏觀行程范圍內(nèi)達(dá)到亞納米臺(tái)辨率的定位，支持開環(huán)／閨環(huán)控制。
目前主要應(yīng)用于電子顯微鏡原位納米探針臺(tái)、半導(dǎo)體芯片檢測(cè)、光纖焊接、組裝、檢測(cè)與測(cè)量、高精度激光對(duì)焦、光刻機(jī)工件臺(tái)、微生物操縱手等。
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