壓電驅(qū)動(dòng)納米位移臺(tái)，使用壓電陶瓷作為運(yùn)動(dòng)促動(dòng)元件，可以在數(shù)百毫米范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)別的Z小步長(zhǎng)，從而解決了傳統(tǒng)納米臺(tái)行程小而微米電動(dòng)臺(tái)分辯精度不高的問(wèn)題。在科研市場(chǎng)、半導(dǎo)體市場(chǎng)、先進(jìn)制造業(yè)、生物醫(yī)藥行業(yè)、光學(xué)、通信等行業(yè)有廣泛應(yīng)用。
壓電納米位移臺(tái)優(yōu)勢(shì)：
1、結(jié)構(gòu)緊湊，高剛性。
2、高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)。
3、室溫到液氦工作溫度，超高真空兼容。
4、壓電陶瓷促進(jìn)器具有超長(zhǎng)使用壽命。
5、帶位移傳感器，提供位置和速度閉環(huán)控制。

壓電直線納米位移臺(tái)MF30-30A

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