微納探針臺-ZP3-4
微納探針臺ZP3-4可在納米尺度上對樣品和測試設(shè)備進(jìn)行電學(xué)表征。
產(chǎn)品參數(shù)
探針數(shù)量:4個探頭,每個探頭配備一個三軸探針臂;自由度:每個探頭獨(dú)立驅(qū)動(X、Y、Z三自由度);
運(yùn)動:壓電驅(qū)動;
步進(jìn)速度:2 mm/s(X,Y,Z);
運(yùn)動范圍:20x20mm(X,Y),10mm(Z);
運(yùn)動分辨率:1 nm (X、Y),10nm (Z);
探針規(guī)格:針柄直徑為0.51mm(0.020’’);
產(chǎn)品優(yōu)勢
快速、準(zhǔn)確、穩(wěn)定
ZP3-4微納探針臺包含4個壓電三軸探針臂,每個三軸配備1個可拆卸式電學(xué)探針接口,可在毫米級尺度上進(jìn)行宏觀運(yùn)動并實現(xiàn)納米尺度上的微觀運(yùn)動。
使用場景多樣化
ZP3-4微納探針臺結(jié)構(gòu)緊湊,占用空間小,運(yùn)動行程大,可匹配各種顯微鏡樣品臺,真空室,光學(xué)試驗臺等工作條件。
完善的技術(shù)解決方案
Z P 3 – 4 微 納 探 針 臺 與 尼 康 金 相 顯 微 鏡 / SR-Scopel集成形成的探針臺電學(xué)測量系統(tǒng),為宏觀行程上進(jìn)行的微觀尺度電學(xué)及表征測量提供了具體的解決方案。
直觀、方便
ZP3-4微納探針臺通過手柄控制,具有多級宏觀調(diào)速,脈沖運(yùn)動,以及位移微調(diào)功能,宏觀運(yùn)動速度跨度在5um/s~2mm/s,單點(diǎn)脈沖步進(jìn)可達(dá)300nm以下,微調(diào)運(yùn)動分辨率小于1nm,在顯微鏡下操作更直觀,方便,準(zhǔn)確。
高度集成
ZP3-4微納探針臺電學(xué)測量系統(tǒng),配備完善的光學(xué)顯微鏡模塊,配備亮度調(diào)節(jié),增益和變焦等功能,與電腦連接后,可實現(xiàn)圖像快照,尺寸測量和標(biāo)注,視頻記錄等常規(guī)功能。
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