壓電物鏡NF100LA
采用壓電陶瓷驅(qū)動的納米級物鏡掃描臺，內(nèi)部使用無摩擦及空回的柔性較鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，確保了掃描臺的運(yùn)動精度。掃描臺內(nèi)置位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納...
壓電物鏡NF100LA
壓電物鏡NF100LA采用壓電陶瓷驅(qū)動的納米級物鏡掃描臺，內(nèi)部使用無摩擦及空回的柔性較鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，確保了掃描臺極佳的運(yùn)動精度。掃描臺內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級，定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級。