壓電三軸納米探針臺(tái)實(shí)現(xiàn)了三維空間上的準(zhǔn)確定位，它具有分辨率高，尺寸緊湊，行程大，操作簡單，能在真空下使用等優(yōu)點(diǎn)，可應(yīng)用于在SEM真空腔體內(nèi)完成各種納米精度運(yùn)動(dòng)操作。

壓電三軸納米探針臺(tái)使用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，運(yùn)動(dòng)無需潤滑，真空兼容，并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。運(yùn)動(dòng)分辨率達(dá)到納米級(jí)。步進(jìn)和掃描雙模式工作，在宏觀行程范圍內(nèi)達(dá)到亞納米分辨率的定位。

三軸納米探針臺(tái)由三個(gè)單軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)組合而成。一個(gè)SEM腔體內(nèi)可安裝多個(gè)三軸探針臺(tái)。平臺(tái)上可安裝電學(xué)探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測(cè)量頭，實(shí)現(xiàn)微納操縱和測(cè)量的目的。

壓電三軸納米探針臺(tái)應(yīng)用案例：

通過壓電納米位移臺(tái)的納米精度定位，兩個(gè)探針通過與樣品接觸，完成在SEM里實(shí)現(xiàn)對(duì)二維材料的電學(xué)測(cè)量。

同樣的,通過壓電納米位移臺(tái)也可以在更多領(lǐng)域完成高精度實(shí)驗(yàn),例如可應(yīng)用于納米材料操縱、納米器件電學(xué)光電等物性測(cè)量、生物細(xì)胞DNA操作等。

同時(shí)產(chǎn)品可以適配市面上大多數(shù)的SEM，例如：日本電子，日立，F(xiàn)EI,TESCAN等。

壓電三軸納米探針臺(tái)技術(shù)參數(shù)

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