該產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)了三維空間上的準(zhǔn)確定位，它具有分辨率高，尺寸緊湊，行程大，操作簡單，能在真空下使用等優(yōu)點(diǎn)，可應(yīng)用于在SEM真空腔體內(nèi)完成各種納米精度運(yùn)動(dòng)操作。

該產(chǎn)品使用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，運(yùn)動(dòng)無需潤滑，并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。運(yùn)動(dòng)分辨率達(dá)到納米級。步進(jìn)和掃描雙模式工作，在宏觀行程范圍內(nèi)達(dá)到亞納米分辨率的定位。

三軸探針臺由三個(gè)單軸運(yùn)動(dòng)臺組合而成。一個(gè)SEM腔體內(nèi)可安裝多個(gè)三軸探針臺。平臺上可安裝電學(xué)探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測量頭，實(shí)現(xiàn)微納操縱和測量的目的。