壓電納米位移臺
壓電納米位移臺,納米壓電驅(qū)動馬達,使用壓電陶瓷作為運動促動元件 ,可以在數(shù)十毫米范圍內(nèi)實現(xiàn)納米級別的步長,從而解決了傳統(tǒng) 納米臺行程不足,而微米電動臺分辨率和精度不高的問題。
卓聚科技研發(fā)團隊自主研發(fā)的壓電驅(qū)動馬達,具有運動無需潤滑,真空兼容,可在從液氦溫區(qū)(-269攝氏度)至室溫的寬溫區(qū)內(nèi)工作等優(yōu)點。其運動分辨率達到納米級,具有步進和掃描雙工作模式,在宏觀行程范圍內(nèi)達到亞納米分辨率的定位。其主要應(yīng)用領(lǐng)域有:基礎(chǔ)科研市場,半導(dǎo)體市場,先進制造業(yè),生物醫(yī)藥行業(yè),光學(xué)、通信等行業(yè)。
根據(jù)納米位移臺的運動軌跡,我司的位移臺分成三大類型,直線納米位移臺,旋轉(zhuǎn)納米位移臺,多軸納米位移臺。
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