旨在預(yù)算與高測量可靠性之間尋求平衡點，該平臺配備高精度位移臺，可實現(xiàn)X、Y、Z、R等方向自動調(diào)整，各移動軸可實現(xiàn)±0.005mm以下的精度定位，對陣列型測量特征可實現(xiàn)快速準確的測量。經(jīng)濟實用，穩(wěn)定性強，可升級擴展，操作方便是本產(chǎn)品的核心價值，在各大高校、研究所及半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用廣泛。

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